探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统

作者：赵成强; 徐文东; 洪小刚; 李小刚; 唐晓东

来源：光学学报, 2009, (02): 473-477.

• 光刻
• 表面等离子体共振
• 原子力显微镜
• 探针 lithography
• surface ptasmon resonance(SPR)
• atomic force microscope(AFM)
• probe

提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统。此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果。系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制。通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性。研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考。

• 出版日期2009
• 单位中国科学院上海光学精密机械研究所; 华东师范大学