多孔感应加热线圈技术能解决区熔法单孔线圈拉制单晶硅效率低、成本高等问题。但因相关理论研究不足,技术不成熟,导致同时拉制的多根单晶硅形状不同。根据电磁场理论建立了多孔线圈磁场模型,分析了工作原理,研究了多孔线圈磁场分布规律。为直观证明同时拉制多根单晶硅的机理,建立了基于Matlab和Ansys的数学模型,在Matlab中计算并绘制磁感应强度分布图,运用Ansys仿真软件对实际过程进行模拟,证明理论分析的正确性和线圈设计的实用性。
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