针对造成大气污染的主要污染物之一挥发性有机物(VOCs),阐述并归纳电子束法、介质阻挡放电法、脉冲电晕法三种低温等离子体脱除挥发性有机物技术的工艺特点,介绍低温等离子体几种去除VOCs技术工作原理及研究进展,并分析几种方法的优缺点,对低温等离子体去除挥发性有机物技术的发展方向进行展望。