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Analyses of piezoresistive and mechanical characteristics of nano polysilicon film
作者：Lu Xuebin; Cui Linhai; Huang Hai
来源：
International Conference on Software Intelligence Technologies and Applications and International Conference on Frontiers of Internet of Things, 2014
, 2014-12-04 to 2014-12-06.
DOI：10.1049/cp.2014.1575
Deposition temperatures
Low pressure chemical vapour depositions
Mechanical characteristics
Nano-polysilicon films
Piezo-resistive
Piezo-resistive sensors
Technical parameters
Temperature characteristic
出版日期
2014
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