采用空心阴极离子镀设备,在Ti22合金螺栓上进行了离子气相沉积铝的研究。通过对枪功率、工件负偏压、烘烤温度、沉积真空度等工艺参数的研究以及对铝涂层结合力、纯度、厚度等检验,确定了Ti22螺栓镀铝工艺:使用石墨坩埚,在氩分压为(5—8)×10~(-2)pa、工件烘烤温度300℃、枪功率17—20kW、负偏压50V的条件下,可以镀制出与Ti22基材结合良好、纯度高于99%、均匀、光滑的铝涂层。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
