SnO2氧化物半导体型传感器的应用优化研究

作者:焦成; 王群立; 田金木; 赵中会; 李青锋
来源:自动化应用, 2021, (08): 64-69.
DOI:10.19769/j.zdhy.2021.08.020

摘要

在大数据与物联网高速发展的时代,传感器无疑作为自动获取信息的第一选择而工作于整个信息链的最前端。而随着工业化程度的加强、大气环境的逐步恶化、工厂家庭火灾频发、航空航天以及医疗、灾情和探险等多方面均为传感器发展提供了众多机会。其中,气体传感器因体积小、低成本、隐私好的优点而得到了广泛的运用,因此也对其稳定性、准确性及精度做出了更高的需求,而气体传感器因其电化学性质会产生非线性反馈、阻浓特性曲线转移、化学腐蚀等棘手问题,使其在运用中大多只能以一阈值作为开关量传感器使用,因此本文将从硬件优化及软件补偿上进行氧化物半导体型传感器的应用优化研究。