摘要

首次采用双重肖特基势垒增强层技术,制作了InGaAs金属-半导体-金属光电探测器。实验结果表明:具有15nm的p-InP和100nm的InP双重势垒增强层的器件,极大地减小了暗电流,最小达4.7nA(10V),证明这是一种减小金属-半导体-金属光电探测器暗电流的有效途径

全文