氮对纯钛表面类金刚石薄膜内应力与附着力的影响(英文)

作者：尹路; 陈洁

来源：稀有金属材料与工程, 2012, S2: 858-861.

• 纯钛
• 类金刚石
• 表面改性
• 压痕实验 pure titanium
• diamond like carbon
• surface modification
• indentation experiments

采用脉冲电弧离子镀膜法于不同氮含量条件下在纯钛表面制备类金刚石膜(DLC)。利用扫描电镜观察分析不同氮含量下薄膜的表面形貌及能谱分析薄膜成分,显微压痕仪对比分析不同氮含量对薄膜厚度和硬度的影响。试验结果表明随工艺中氮气/甲烷比值的增大,薄膜中氮含量随之增大。氮掺入DLC薄膜后,改变了薄膜的微观结构,产生几十纳米量级的颗粒。SEM、XPS分析表明纳米颗粒是富氮的非晶氮化碳CNx结构。DLC/CNx致密的纳米复合结构,减小了薄膜的内应力,提高了薄膜对衬底的附着力。

• 出版日期2012
• 单位厦门大学; 厦门市口腔医院