多层四面体非晶碳膜的热稳定性

作者：韩潇; 朱嘉琦; 周峰; 陈晓丽

来源：红外与激光工程, 2012, (01): 144-148.

• 非晶碳
• 多层膜
• 残余应力
• 热稳定性 amorphou carbon
• multilayer films
• residual stress
• thermal stability

为了获得具有一定厚度的四面体非晶碳薄膜,利用过滤阴极真空电弧(FCVA)沉积技术,通过交替改变衬底偏压的方法制备了多层四面体非晶碳(ta-C)薄膜。多层膜由富sp2子膜层Ai与富sp3子膜层Bi交替组成(i=1,2,3),各子膜层厚度比dAi/dBi约为1.0,总的膜厚约为1μm。根据Stoney公式计算多层膜的各子膜层压应力呈交替起伏变化。多层四面体非晶碳膜在500℃以下的真空退火处理后,可见光Raman谱表明,多层膜的富sp3杂化结构基本保持不变,纳米压痕测量的薄膜硬度与杨氏模量略微增加,纳米划擦实验表明,多层膜具有优良的耐磨性与附着性。因此,多层ta-C膜具有优良的力学性能和热稳定性,是...

• 出版日期2012
• 单位哈尔滨工业大学; 北京空间机电研究所