变极性脉冲酸洗控制方法

作者:曹彪; 杨凯; 杨广; 黄增好
来源:2015-02-12, 中国, ZL201510080244.X.

摘要

本发明公开了一种变极性脉冲酸洗控制方法,包括如下步骤:在将工件置于酸性电解液中进行酸洗时,实时检测所述工件的电特征信息;判断所述电特征信息是否满足极性切换条件:若满足,则改变电源系统输出脉冲的极性,使所述工件由阴极酸洗切换为阳极酸洗或者由阳极酸洗切换为阴极酸洗。本发明通过控制电源系统进行变极性输出,使工件交替进行阳极酸洗与阴极酸洗,避免了工件材料发生氢脆现象,改善了酸洗效果,提高了酸洗效率。