低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究

作者：赵杰; 唐德礼; 程昌明; 耿少飞

来源：核聚变与等离子体物理, 2009, (01): 92-96.

DOI：10.16568/j.0254-6086.2009.01.016

• 圆柱形阳极层离子源
• 离子束
• 发散状态
• 准直性状态

介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性。离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V,放电电流0.1～1.4A,工作气压1.9×10-2～1.7×10-1Pa,气体流量5～20sccm。离子源有两个工作状态:发散状态和准直性状态。

• 出版日期2009-3-15
• 单位核工业西南物理研究院