提出了一种新的改善传感器温度特性的方法。通过在压力传感器芯片上集成多晶硅电阻网络与温度传感器 ,借助传感器信号处理单元 ,可以方便地实现对灵敏度系数的补偿。经过补偿 ,传感器的零点温漂达到 1×10 - 4/℃ ,灵敏度温漂低于 - 2× 10 - 4/℃。这种方法补偿的温区宽 ,具有很强的通用性 ,使高温压力传感器十分有效的温度补偿方法。
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