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Study on X-ray deep lithography process in LIGA technique
作者：Chen, Di; Li, Changmin; Zhang, Jiliang; Yi, Futing; Zhou, Di; Guo, Xiaoyun
来源：
Microfabrication Technology
, 2000, (2): 66-69, 61.
出版日期
2000
单位
上海交通大学
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