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摘要
针对DMD数字光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计出了一套适用于型号0.7XGADMD的10片式光刻投影物镜.该物镜采用非对称性结构,前组为改进的三分离物镜,后组为匹兹伐物镜加平像场镜,分辨率为2μm,近轴放大倍率为-0.15,像方数值孔径NA为0.158,全视场波像差小于λ/20,畸变小于0.014％,焦深为20μm,通过各项评价可知系统已经达到了衍射极限.在对该镜头进行公差分析后,利用Monte Carlo方法,模拟组装加工了100组镜头,得到90％的镜头MTF＞0.46,50％的镜头MTF＞0.51,证明了这种非对称性结构加工和校装的可能性.
- 出版日期2016
- 单位广东工业大学
