针对磁悬浮结构的大行程纳米定位平台的位移数据采集问题进行了研究。高精度的位置传感器对实现反馈控制起着决定性的作用,能否实现精确的位置数据传输,决定了是否能够准确地控制纳米磁悬浮平台。为了实现磁悬浮平台准确的数据传输,设计了基于USB传输芯片以及FPGA的数据采集传输系统。采用QEP计数方法,实现了对正交差分信号上升沿的计数工作,通过试验及仿真,验证了电路各模块之间的可行性及有效性,实现了纳米定位平台位移的精确获取。
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