基于PDMS微结构介质层的柔性电容式压力传感器

摘要

近年来，为了满足人工智能、物联网和可穿戴设备的发展需求，高灵敏度、低成本的柔性压力传感器的设计和制备引起了研究人员的广泛关注.本文以聚二甲基硅氧烷（PDMS）四棱柱微结构薄膜作为传感器的介质层，以银纳米线-聚对苯二甲酸乙二醇酯（AgNW-PET）透明导电膜作为传感器的上下电极层，制备了一种具有“三明治”结构的柔性电容式压力传感器.采用压力装置以及电容采集装置对传感器的性能进行测试.测试结果表明，在0～0.18 kPa压强范围内，该传感器的灵敏度可达0.63 kPa-1,并且具有较低的迟滞性，较快的响应时间和恢复时间，以及较好的重复性和稳定性，能检测到0.73 Pa的微小压力.最后，展示了传感器在接触检测和接近感应中的应用.

关键词