大气等离子加工系统设计及实验验证

作者：赵培君; 王波; 卢礼华; 董申

来源：航空精密制造技术, 2010, (01): 9-11+19.

• 复杂光学表面
• 大气等离子体
• 抛光 complex optical surface
• atmospheric pressure plasma
• polishing

建立了面向复杂光学表面的大气等离子抛光系统,并用该系统进行硅片表面加工的实验研究。研究了CF4、SF6两种气体的放电特性以及加工效果,得到了加工速率与功率,流量间的关系,并通过原子力显微镜观察了加工后的表面质量。

• 出版日期2010
• 单位哈尔滨工业大学