离轴三反系统的无应力装调

作者：梅贵; 翟岩; 曲贺盟; 浦前帅

来源：光学精密工程, 2015, (12): 3414-3421.

• 离轴三反系统
• 无应力装调
• 计算机辅助装调
• 波像差 off-axis three-mirror system
• stress-free alignment
• computer-aided alignment
• wavefront error

为了解决离轴三反光学系统装调过程中由于连接、紧固、温度变化等产生的应力导致反射镜面形和系统像质恶化的问题,提出了无应力结构设计和装调方法。采用内外框结合的方法设计反射镜组件,同时设置柔性变形环节,增加应力源与镜面间传递距离来削弱应力对反射镜面形的影响。系统框架采用非固定的定位方式,使用3个高精度钢球和相应的锥形孔、V型槽和平面底座约束框架的六自由度,通过两个基准立方镜和莱卡经纬仪监视框架的微位移,数显千分表监视反射镜六维调整架的移动和复位。经初装调和计算机辅助精装调后,系统全视场平均波像差均方根(RMS)值达到0.068λ;修垫、连接后为0.070λ,在奈奎斯特频率处的全视场平均调制传递函数(...

• 出版日期2015-12-15
• 单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所