登录
免费注册
首页
论文
论文详情
赞
收藏
引用
分享
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
Micro electrical discharge machining techniques of semiconducting silicon material
作者:Zhang, Yong
*
; Zhang, Guang Yu; Wang, Zhen Long; Zhao, Wan Sheng
来源:
Journal of Harbin Institute of Technology
, 2008, 40(11): 1736-1740.
Erosion resistance
Machining experiments
Micro EDM
Micro electrical discharge machining
Micro-bean
P-type silicon wafers
Process parameters
Silicon materials
出版日期
2008
单位
上海交通大学
全文
全文
访问全文
相似论文
引用论文
参考文献