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Droplet-based, high-brightness extreme ultraviolet laser plasma source for metrology

作者：Vinokhodov A Yu; Krivokorytov M S; Sidelnikov Yu V; Krivtsun V M; Medvedev V V; Koshelev K N
来源：Journal of Applied Physics, 2016, 120(16): 163304.
DOI：10.1063/1.4966930
  • 出版日期2016-10-28

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更新时间：2022-08-19 04:00