摘要

激光技术是近年来发展速度较快及应用领域较为广泛的一项现代化电子技术,由于该技术的精确度较高,因此我国激光洛氏硬度国家副基准装置中运用了该项技术,该技术将压痕深度测量的误差控制在纳米级别范围内,实际应用价值较高。文章从激光干涉技术原理介绍入手,详述了激光干涉装置在硬度副基准上的应用,分析了误差引起的硬度标准不确定度。旨在为该技术在硬度计量中的应用提供一些参考。