脊形InGaN激光器的温度分布及其对器件特性的影响(英文)

作者:李德尧; 黄永箴; 张书明; 种明; 叶晓军; 朱建军; 赵德刚; 陈良惠; 杨辉; 梁骏吾
来源:Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2006, (03): 499-505.

摘要

利用含时二维热传导模型分析了蓝宝石衬底上生长、制作的脊形InGaN激光器内波导层的温度分布和时间演化规律.由于较大的阈值电流和电压以及较差的衬底导热性能,脊形下波导层内会产生较高温升并在脊形内外形成较大的温度台阶.由于脊形波导的弱自建波导特性,这一温度台阶会对侧向模式的限制产生较大的影响.短脉冲工作下的时间分辨L-I测试以及时间分辨远场和光谱测试结果显示,脊形内外的温度台阶会改善波导对高阶模的限制,导致器件的阈值电流下降,斜率效率升高.而有源区的温升又会导致斜率效率的严重下降.