电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究

作者：赵桥桥; 桑利军; 陈强; 李兴存

来源：真空科学与技术学报, 2013, 33(10): 975-979.

• 原子层沉积
• 微波电子回旋共振
• 退火
• 表面电阻 Atomi layer deposition
• Electron cyclotron resonance
• Annealed
• Surface resistance

介绍了以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体装置中进行了等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究。确定了影响薄膜结构、表面形貌、和性能的因素。其中薄膜的晶体结构采用X射线衍射表征、原子力显微镜表征薄膜的表面形貌、傅里叶红外变换仪研究薄膜的成分组成,而薄膜性能表面电阻用四探针电阻仪进行测量。实验得到电子回旋共振等离子体可以有效辅助原子层沉积技术制备金属铝薄膜,微波功率对铝薄膜性能有一定的影响;薄膜的后退火处理对其性能影响较大,在氢气氛围中退火处理后铝薄膜的表面电阻有显著的降低,接近其体电阻值。

• 出版日期2013
• 单位北京印刷学院