采用射频磁控溅射方法在石英片上生长不同厚度Ag薄膜,测试了Ag膜反射率变化随厚度的变化关系,利用AFM和SEM分别研究Ag膜厚度对其表面粗糙度和形貌的影响。结果表明:Ag厚度在130nm以下时,随着厚度的增加,透射率急剧下降,其反射率逐渐增加;当厚度超过130nm时,透射率不再变化,由于表面RMS的增加使得散射损耗增大,使得其反射率随着厚度增加而减小。
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