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Multi-stage pulsed laser deposition of aluminum nitride at different temperatures
作者:Duta L; Stan G E; Stroescu H; Gartner M; Anastasescu M; Fogarassy Zs; Mihailescu N; Szekeres A; Bakalova S; Mihailescu I N
来源:
Applied Surface Science
, 2016, 374: 143-150.
DOI:10.1016/j.apsusc.2015.10.093
出版日期
2016-6-30
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