石英陶瓷坩埚对多晶硅铸锭质量的影响

作者：岳立喜; 武文双; 及冲冲; 余志永

来源：铸造技术, 2015, (03): 779-781+799.

DOI：10.16410/j.issn1000-8365.2015.03.068

• 石英陶瓷坩埚
• 多晶硅铸锭
• 少子寿命
• 利用率 quartz ceramic crucible
• polycrystalline silicon ingot
• minority carrier lifetime
• utilization

分别从多晶硅铸锭利用率、少子寿命和外观质量三个方面对比分析了三个不同厂家的石英陶瓷坩埚对多晶硅铸锭质量的影响。对比分析各项指标后,判断b厂家的坩埚性能优异,得到的多晶硅铸锭质量最好,适合于大规模生产。

• 出版日期2015
• 单位华北理工大学