面向微电子应用的二维过渡金属硫族化合物制备进展

作者：许浒; 廖付友; 郭仲勋; 郭晓娇; 周鹏; 包文中; 张卫

来源：科学通报, 2017, 62(36): 4237-4255.

• 二维层状材料/二维原子晶体
• 过渡金属硫族化合物
• 二硫化钼
• 化学气相沉积

二维原子晶体材料所独有的结构特性带来了诸多优异的性质.与石墨烯相比,二维过渡金属硫族化合物(TMDs)拥有不同大小且可调控的带隙,在微电子和光电器件领域有着广阔的应用前景.本文对二维TMDs材料"自上而下"和"自下而上"的制备方法进行了总结,对比了机械剥离、液相剥离和化学气相沉积等常见制备技术,并归纳了各自的优缺点.同时基于未来晶圆级二维TMDs器件,重点介绍了化学气相沉积法及其面向应用需要解决的问题.最后总结了二维TMDs材料在微电子器件应用中的研究进展.

• 出版日期2017
• 单位复旦大学