摘要

为了研制符合"国家863"项目要求的,满足高线性大功率直接调制应变多量子阱半导体激光器,对AlGaInAs/InP应变多量子阱激光器的有源区的量子阱数及芯片生长工艺进行了研究。根据求解速率方程组、计算载流子浓度分布,分析瞬态过程和稳态过程,得出理论最优阱数,再在最优阱数下对比不同温度下的激光器的各项性能指标,得出最佳温度值。基于ALDS软件模拟建立了AlGaInAs/InP仿真模型,模拟结构输入、材料求解、阈值分析、性能计算等。讨论了不同量子阱个数、不同温度对器件稳态、大小信号、噪声等的影响。结果表明,当阱组分为Al_(0.24)Ga_(0.23)In_(0.53)As,阱宽为3.3nm,垒宽...

全文