DEM技术中微复制工艺研究

作者：陈迪; 雷蔚; 李昌敏; 张卫平; 蔡炳初

来源：微细加工技术, 2000, (01): 61-65.

• DEM技术
• 微复制
• 微结构 DEM technique
• Microreplication
• Microstructure.

利用DEM (Deepetching ,Electroforming ,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究。对微复制工艺参数进行了优化 ,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深宽比的微结构 ,并对PC、PMMA和POM和不同图形的微复制效果进行了比较

• 出版日期2000
• 单位上海交通大学