一种微型角锥电感器的制备方法

作者：黄文; 李龙宇; 王奇振; 桑磊

来源：2023-03-10, 中国, CN202310227774.7.

本发明涉及一种微型角锥电感器的制备方法,属于纳米电子器件技术领域。制备操作步骤：(1)在硅衬底上依次沉积牺牲层和应力层；(2)采用感应耦合等离子体刻蚀方法经第一次光刻确定操作台；(3)采用电子束蒸发镀膜方法经第二次光刻后沉积金属层,采用原子层层积方法沉积保护层；(4)第三次光刻确定刻蚀窗口,刻蚀牺牲层触发薄膜自卷曲,得到标准自卷曲电感；(5)对标准自卷曲电感退火处理,产生应力差,得到角锥电感。本发明的微型角锥电感器有着大的自谐振频率和品质因数,在宽频带内有着良好的使用效果,在具有较小尺寸的同时,电感器的结构参数可调。

• 出版日期2023-3-10
• 单位合肥工业大学