MEMS传感器现状及应用

作者：武金亮; 周琦; 高晓宇; 胡梦晴; 秦东林

来源：通讯世界, 2015, (04): 207.

• 微电子机械系统(MEMS)
• 传感器
• 应用

随着我国科技的不断进步,MEMS传感发展迅猛,在各个领域内得到广泛应用。再次情况下,本文阐述了MEMS技术的特点,分析了其在各领域内的具体应用情况,并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。

• 出版日期2015
• 单位杭州电子科技大学