类金刚石碳剥离膜的制备及其性能研究

作者：樊启文; 杜英辉; 张榕; 夏清良

来源：原子能科学技术, 2015, 49(08): 1509-1514.

• 类金刚石碳
• 剥离膜
• 磁过滤阴极真空弧
• 寿命
• 结构

采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术制备了质量厚度为57μg/cm2的类金刚石碳(DLC)剥离膜。用XP2U型精密电子天平测试分析了100mm范围内的DLC剥离膜均匀性,结果显示其最大不均匀性小于10%。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、万能摩擦磨损试验机和X光电子谱(XPS)测试分析了DLC剥离膜的表面形貌、耐磨损特性和结构,结果显示采用双90°FCVA技术沉积的DLC剥离膜表面光滑致密、耐磨,几乎没有大颗粒的污染,表征金刚石特性的sp3键含量超过70%。在北京HI-13串列加速器上使用107 Ag-、70 Ge-、48 Ti-、28Si-、197 Au-和127I-六种典型质量的离子束对质量厚度为57μg/cm2的DLC剥离膜和碳剥离膜寿命进行测试比较,结果显示DLC剥离膜寿命比碳剥离膜的高2.610倍。

• 出版日期2015
• 单位中国原子能科学研究院