电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用

作者：史强; 靳鹏云; 张福安

来源：微细加工技术, 2002, (03): 33-35+43.

• 对准技术
• 标记对准模拟软件
• 电子束缩小投影曝光机 alignment technology
• software of alignment simulation
• PELDI

介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。

• 出版日期2002
• 单位中国科学院电工研究所