光敏杂化溶胶-凝胶法研制多模干涉波导分束器

作者：吴远大; 安俊明; 王玥; 尹小杰; 张家顺; 李建光; 王红杰; 胡雄伟

来源：光电子-激光, 2010, (10): 1452-1454.

DOI：10.16136/j.joel.2010.10.001

• 杂化溶胶-凝胶
• 光敏
• 多模干涉(MMI)
• 分束器 hybrid sol-gel
• photosensitive
• multi-mode interference(MMI)
• splitters

采用有机/无机杂化溶胶-凝胶方法制备高质量的SiO2薄膜和光敏性薄膜材料;利用三维FD-BPM(finitedifference beam propagation method)研究了掩埋式和暴露式矩形波导结构多模干涉(MMI)型光功率分束器的主要性能,理论模拟发现,掩埋式矩形波导结构分束器的长度、宽度和厚度容差性都优于暴露式矩形波导结构的MMI型分束器,并且具有更宽的带宽特性。通过简单的紫外曝光、显影工艺制备了1×4 MMI型波导分束器,分束器在1 550 nm波长附近的插入损耗为8.1～8.8 dB,功率分束不均匀性小于1 dB。

• 出版日期2010
• 单位中国科学院半导体研究所