以石英晶体微天平传感器为平台,研究六甲基二硅胺烷(HMDS)处理前后的纳米ZnO作为敏感膜湿度敏感特性。用HMDS处理后的纳米ZnO膜表面呈厌水性,同未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比,对湿度的响应敏感度明显降低。进一步的研究发现,用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体,如乙醇等,仍有很好的响应。该特性可被用来开发具有对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。
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