超声研磨能有效提高研磨效率,使工件获得较高的尺寸精度和微观几何形状精度。通过不同振动模式下的Al2O3工程陶瓷普通与超声研磨对比试验,利用正交回归分析方法获得了优选工艺参数和经验公式,得出了各工艺参数对研磨压力的影响主次顺序,并分析了各工艺参数对研磨压力的影响规律。结果表明:超声研磨所获得的研磨压力低于普通研磨,且轴向研磨压力要小于切向研磨,超声复合研磨是适合工程陶瓷等硬脆材料的一种高效加工方法。
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