椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用

作者：金承钰

来源：现代科学仪器, 2003, (02): 30-31.

• 椭圆偏振仪
• 光学梯度膜
• 多层膜
• 膜厚
• 光学常数 Ellipsometer
• optical graded layer
• mutilayers
• film thickness
• optical constant

主要研究变角度变波长椭圆偏振仪测量多层膜每层膜厚和光学特性 ,并给出了光学梯度薄膜的梯度特性。

• 出版日期2003
• 单位上海交通大学