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摘要
对铝上磁控溅射离子镀铀及铀上磁控溅射离子镀铝的膜的沉积生长方式及界面的显微组织情况进行了研究。铝上磁控溅射离子镀铀界面上与铝接触的深层铀膜呈不定形结构,没有形成铀晶粒。铀膜表面由许多直径只有 10～20 nm 微晶态的铀的小颗粒组成,部分微晶态的铀已经开始长大,并呈现出多晶化的特征。Cu 和 Fe 杂质降低了铀镀层与铝基体之间的应力,界面结合处未产生大量明显的裂纹。铀上磁控溅射离子镀铝界面附近呈现多种显微组织。铝膜在铀基体上生长时,首先在有部分氧化的铀基体上形成某一种或几种铀铝化合物颗粒,随后形核生长成铝的小晶粒,部分小晶粒首先逐渐长大,形成倒立锥体状较大晶粒,大晶粒的上端逐步接近,形成一个整体的生长平台,在这个生长平台上,晶粒上端的外围原子在生长过程调整排列的取向,生长出渐渐变细的正立的锥体。铝膜生长过程中在铀基体结合处有较大应力,导致大量明显裂纹。
- 出版日期2000-6-15
- 单位中国工程物理研究院
