MEMS尺寸效应的分析模型及应用

作者：韩光平; 刘凯; 褚金奎

来源：中国机械工程, 2004, (07): 70-73.

• 微电子机械系统
• 尺寸效应
• 泛函分析
• 分析模型 MEMS
• size effect
• functional analysis
• analytical model

论述了尺寸效应的内涵及其对微电子机械系统 (MEMS)基础理论研究的重要影响 ;提出了广义尺寸效应、狭义尺寸效应 ,正效应、负效应及其判据 ;建立了狭义尺寸效应的分析模型 ,从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面进行泛函分析。将该模型应用到两端固支多晶硅微梁的弯曲测试 ,分析结果与实验相符。

• 出版日期2004
• 单位西安理工大学; 郑州航空工业管理学院