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摘要
针对未来空间毫米波亚毫米波准光技术的应用,对其核心器件频率选择面(FSS)的加工技术进行了研究。通过CST MWS软件对118 GHz频率选择表面进行了仿真,研究了线宽、周期长度、结构片厚度以及垫片厚度对频率选择表面的频率响应特性的影响。采用UV-LIGA技术对118 GHz频率选择表面进行了加工制造,并对其样品进行测试。SEM结果显示,样品的侧壁陡直性良好,结构尺寸精度高,其最大误差为±2μm。样品的频率响应特性测试结果表明,在118 GHz和89 GHz处的插入损耗分别为-0.24 dB和-13.7 dB,两者皆符合预定指标。这表明UV-LIGA技术在加工频率选择表面具有优越性。
- 出版日期2015
- 单位薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学
