本发明公开了一种铜锑硒太阳能电池光伏吸收层薄膜的制备方法,采用射频磁控溅射法依次沉积硒化锑和硒化亚铜双层预制层,分别控制溅射功率和沉积时间调节硒化锑和硒化亚铜预制层的厚度,使其成分富锑；之后进行真空退火,使预制层中的硒化亚铜和硒化锑充分反应生成铜锑硒,并提高结晶性,最终生成结晶性良好的铜锑硒薄膜。本发明制备方法由于使用磁控溅射顺序沉积工艺,适合流水线生产大面积太阳能电池,且生产过程清洁环保,为铜锑硒薄膜太阳能电池的产业化探索了一条可行之路。
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