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Dynamic scheduling of photolithography process based on kohonen network
作者:Jiang, Shu Yu; Zhou, Bing Hai
*
; Pan, Er Shun
来源:
Journal of Shanghai Jiaotong University
, 2009, 43(11): 1788-1793.
Dynamic scheduling
Kohonen network
Photolithography process
Real
time scheduling
Semi-conductor fabrication
Semi-conductor market
Semiconductor manufacturing process
Semiconductor manufacturing systems
出版日期
2009
单位
上海交通大学
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