SOI技术——21世纪的硅集成技术

作者：伍志刚; 凌荣堂

来源：微电子学, 2001, (01): 1-5.

• SOI
• 体硅
• SIMOX
• 硅集成 Silicon on insulator
• Bulk silicon
• Separation by Implanted Oxygen
• Si integration

SOI技术作为 2 1世纪的硅集成技术 ,越来越受到人们的关注。文章从寄生电容、闭锁效应、热载流子效应、体效应及辐射效应等几个方面详细讨论了 SOI器件对体硅器件的优势 ,并讨论了当前 SOI技术的研究领域和发展方向

• 出版日期2001
• 单位中国科学院电子学研究所