轮廓的尺寸量、位置量以及形状误差估计值的不确定度与测量误差、被测轮廓的形状特征以及采样策略等有关。当采样点数较少且对轮廓形状特征和仪器特性缺少先验认识时,分析轮廓参数估计值的不确定度是困难的。文中依据轮廓形状特征模型,首次提出“二次测量法”理论,用来辨识模型参数,并定量分析轮廓参数估计值的不确定度。仿真和实测结果表明,该方法是有效的。
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