多晶硅铸锭炉热场底部改进的数值模拟研究

作者:高强; 韩江山; 沈永华; 夏小江
来源:科技资讯, 2013, (13): 12.
DOI:10.16661/j.cnki.1672-3791.2013.13.102

摘要

多晶硅铸锭炉热场的优化改进对于生长高质量的多晶硅极为重要。本文结合计算机数值模拟,对多晶硅铸锭炉热场的底部进行优化,并分析了这项优惠对温场、流场和界面的影响。模拟结果表明,热场优化后,杂质分布更加均匀,更有利于定向凝固过程。

  • 出版日期2013
  • 单位江苏大学; 浙江省机电设计研究院有限公司

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