研究了电化学腐蚀法制备扫描隧道显微镜钨针尖过程中,腐蚀电压、浸入深度、偏离角度、溶液浓度、切断时间对针尖曲率半径的影响,结果表明当电压V=9.5V的情况下,浸入深度在1.5~2mm范围内,偏离角度<1°,溶液浓度在2mol/L,切断时间在500m s以下,腐蚀后得到的钨针尖的曲率半径达到最佳值.
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