Na、Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及性能研究

作者：艾国齐; 谭红琳; 马正洪

来源：热加工工艺, 2011, 40(08): 138-140.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2011.08.001

• 掺杂浓度
• 溶胶-凝胶法
• ZnO薄膜
• 薄膜结构
• 光学性能 doping concentration
• sol-gel method
• ZnO film
• membrane structure
• optical properties

在玻璃衬底上,采用溶胶-凝胶法制备Na、Mg共掺杂的ZnO薄膜,Mg含量不变,改变Na的掺杂含量,研究掺杂浓度、退火温度及镀膜层数对薄膜结构和光学性能的影响。结果表明:薄膜形貌在550℃退火时较好;Na离子含量会影响薄膜(002)晶面的生长;镀膜层数增加,薄膜有明显红移现象并且透光率会降低。

• 出版日期2011
• 单位昆明理工大学