射频磁控溅射制备纳米PLT薄膜的研究

作者：李晖; 罗维根; 陈先同; 丁爱丽; 庄志诚

来源：无机材料学报, 1994, (03): 371-374.

• 纳米材料
• PLZT薄膜
• 磁控溅射 nanocrystalline material
• PLZT thin film
• RF magnetron sputtering

用射频磁控溅射技术，在玻璃衬底上制备出纳米级ＰＬＺＴ薄膜．ＸＲＤ、ＴＥＭ分析表明，薄膜为纯钙钛矿结构，平均粒径为２～５ｎｍ．Ｒａｍａｎ光谱表明，纳米级晶粒尺寸使得薄膜的Ｒａｍａｎ峰向低波数方向移动．

• 出版日期1994
• 单位上海交通大学; 中国科学院上海硅酸盐研究所