等离子体对材料表面改性作用研究

作者：王曼星

来源：现代商贸工业, 2014, (23): 192.

DOI：10.19311/j.cnki.1672-3198.2014.23.113

• 等离子体
• 表面改性
• 离子注入

概述等离子体应用于材料表面改性的基本原理以及等离子体表面改性的几种方式,主要有离子注入、等离子体物理气相沉积、等离子增强化学气相沉积。

• 出版日期2014
• 单位成都理工大学