摘要

动、静涡旋盘之间的泄漏是影响涡旋真空泵抽气性能的重要因素,分析了主要由轴向间隙及径向间隙引起的气体返流泄漏,阐述了相应的密封原理及措施,为涡旋真空泵的优化设计提供新的思路。